檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "李志偉".ccommittee (精準) and year="106"
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藉由高功率脈衝磁控濺鍍系統(High power impulse magnetron sputtering;HiPIMS),搭載電漿放射監控儀(PEM)監控靶材在反應式鍍膜過程的毒化狀態。利用電漿C…
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本研究使用磁控濺鍍法鍍製不同矽含量之氮化鉻鋁矽與氮化鉻鈦鋁矽薄膜,並且針對矽含量對氮化鉻鋁矽與氮化鉻鈦鋁矽薄膜之微結構、機械性質與耐磨耗能力等性能進行分析。薄膜的晶相分析使用低掠角X光繞射儀進行分析…
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現今薄膜機械性質分析,多著重於硬度、彈性系數和附著性質等,而薄膜在製作或是使用過程中若產生破裂,會嚴重影響薄膜性能,因此破裂韌性(fracture toughness)亦為薄膜相當重要的機械性質之一…